フロー搬送・キュアー装置

装置概要

本装置は大型ガラス基板（max730×920mm）に対してマジックムーブ（第一施設工業製･浮上ユニット）を利用し、基盤中心部のタワミを支持（接触）する事無く取り除き、クリーンオーブン内に搬入･加熱処理を行うシステムです。

オーブンは遠赤外線による上下加熱方式を採用し、温度分布の均熱化を図っています。また、オーブン内のマジックムーブに対しては基盤への温度降下を考え、スポットヒーターからの熱風を送風し均熱のバランスが崩れないように配慮しています。

本装置は乾燥･硬化･焼成といった多種の目的に対応出来るよう最高250℃の昇温が可能です。焼成目的に使用される場合には背面より脱ガスを行い、正面より排気と同量の熱風を供給しオーブン内の雰囲気を変化させない機能を備えています。