装置概要
本装置はクリーンルーム対応の抵抗加熱による熱風循環式硬化炉です。
| 基本仕様 | |
| 温度範囲 | 最高 150℃ 常用 120℃ |
| 温度分布 | ± 5℃ |
| 昇温時間 | 120℃まで約60分（無負荷） |
| 冷却時間 | 110℃～80℃まで30秒以内 |
| クリーン度（炉内） | クラス100 （耐熱HEPAフィルター使用） |
連続式アニール装置（クリーンルーム対応）
商社とメーカー「機能複合型企業」
商社とメーカー「機能複合型企業」
商社とメーカー「機能複合型企業」
商社とメーカー「機能複合型企業」
本装置はクリーンルーム対応の抵抗加熱による熱風循環式硬化炉です。
| 基本仕様 | |
| 温度範囲 | 最高 150℃ 常用 120℃ |
| 温度分布 | ± 5℃ |
| 昇温時間 | 120℃まで約60分（無負荷） |
| 冷却時間 | 110℃～80℃まで30秒以内 |
| クリーン度（炉内） | クラス100 （耐熱HEPAフィルター使用） |