装置概要
本装置は入口ガス置換部、予熱部、加熱部、徐冷部、冷却部、出口ガス置換部で構成されています。
試料搬送は、高精度制御のローラコンベアー搬送で高温のゾーンにはセラミックローラーを採用しております。
炭化ケイ素(SiC)発熱体と 高純度アルミナボード断熱材を独自の炉体構造に組込み、高温雰囲気での効率的な焼成ができます。
炉内雰囲気は出入口にガス置換部を採用し 大気 窒素 窒素+水素 さらにWet/Dryと 安定した各種ガス雰囲気に対応、
また独自のガスカーテン採用で炉内のゾーン毎に分離した雰囲気が実現でき各種試料の焼成条件に、幅広く対応します。
主な用途として電子部品、二次電池材料、各種セラミックスの熱処理に最適です。
特長
- 上下加熱方式により試料の温度分布が良い
ヒーターを上下水平に配置し、上下回路を分割 個別制御を行うためワークの温度分布がよい - クリーンな炉内雰囲気
ワークをローラー式コンベアで搬送するため、発塵が少なくクリーンな雰囲気で焼成ができます - 省エネ 省スペース設計
断熱材に高純度アルミナボードを採用。断熱層での蓄熱が少なく消費電力が削減できます - 焼成条件の変更が容易
炉の蓄熱が少ないため温度プロファイル変更が短時間に行え、搬送速度もタッチパネルから簡単に変更できます - 製品搬送の自動化が容易
ローラーコンベア搬送方式のためインライン化が容易です
オプション
- 出入り口のガス置換装置
各種ガス制御装置 (バブリング方式含湿器+マスフロー) 気化方式 - 給・排気装置
- 耐火物 (セッター、サヤ)
- 記録計(ハイブリッド/パーパーレス)
- 上位通信システム
装置仕様 | |||
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炉内寸法 | W400 × H25 ~65 ×L2400mm | ||
常用温度 | 1350℃ | ||
最高温度 | 1400℃ | ||
温度分布 | ±3℃ | ||
炉内雰囲気 | 大気、O2、N2、N2+H2(4%以下)、Wet&Dry | ||
発熱体 | 炭化ケイ素(SiC) | ||
搬送方式 | ローラーコンベア式 | ||
セラミックローラー(高温部) | アルミナ/シリカ | ||
搬送速度 | 4~80mm/min 連続高精度制御 | ||
制御方式 | タッチパネル式 各種統合制御、モニタリング データ保存 通信 | ||
保安機能 | 非常停止 過昇温、搬送異常、ガス制御異常 サイリスタ異常 停電など |
この電気炉仕様は一例です、ご使用の用途に合わせて設計・製作いたします。