装置概要
簡単操作で高真空での高温焼成が出来、省スペース、省エネルギーにも考慮した小型真空電気炉です。
さまざまな試料焼成に、また各種実験に最適な装置です。
特長
- 高真空での熱処理が容易に行えます
- 不活性ガス(アルゴン）雰囲気に対応しています
- 通常の電気炉では得られない、クリーンな焼成が出来ます
- 真空槽に ワンタッチのクラッチドアを採用、ワンレバー操作で準備完了
- 全てをコンパクトにまとめた省エネ、省スペースタイプです
- 電気炉、排気装置、制御系まで全てが同一筐体のオールインワンタイプ
| 仕 様 | ||
| 構造 | 方式 | 横型、前扉、内熱式 |
| 真空槽 | φ230×L290mm 材質 SUSU304 水冷式 |
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| 炉内寸法 | φ150×L170mm | |
| 有効寸法 | φ130×L100mm | |
| 標準試料台 | W100×L150mm | |
| 発熱体 | Mo線ヒーター | |
| 温度 | 常用温度 | 1300℃ （真空中) 1200℃ （Ar） |
| 昇温時間 | 約60min/1300℃ （真空、無負荷) | |
| 温度分布 | 約±10℃ (有効寸法内 1300℃） | |
| 排気系 | 到達圧力 | ×10-5Paオーダー （無負荷、常温、脱ガス後*ベーキング処理） |
| 排気時間 | 約30分 大気圧～×10-5Paｵｰﾀﾞｰ到達まで （無負荷、常温、脱ガス、ﾍﾞｰｷﾝｸﾞ処理後） |
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| ガス系 | 雰囲気ガス | アルゴン |
| 操作圧力 | 真空～0.1MPa | |
| 標準装備 | 導入、排出用電磁弁、流量計 | |
| 計装 | 温度調節計 | プログラム調節計 19ステップ/19パターン |
| 記録計 | ハイブリッド記録計 100mm 6打点 | |
| 安全装置 | 警報 | 過昇温、油拡散ポンプヒーター断線、断水、チャンバー内過圧、ロータリーポンプ過負荷 |
| ユーティリティー | 電力 | AC200V 1φ 5.5ｋVA 50/60Hz |
| 冷却水 | 0.2MPa 25℃ 5Ｌ/min以上 | |
| ガス元圧 | 0.05MPa～0.07MPa | |
| 寸法、重量 | 装置外寸法 | W700×D590×H1540mm（キャスターを含む） |
| 重量 | 約 350kg | |