装置概要
国内納入実績100台以上を誇る、LPE（Liquid,Phase,Epitaxial)薄膜結晶製造装置です。高精度の縦型管状炉、回転昇降駆動軸と非常に温度調節精度の良い制御部により構成され、効率の良い薄膜結晶製造が可能です。
特長
- 優れた均熱特性
- 高精度の試料軸回転昇降駆動機構
- 既存の炉に増設する事も可能です（制約があります）
オプション
- 不活性ガス導入機構
- 電気信号による接液接点
- 排気カバー
- 実製造工程に即したコンピュータ自動運転制御（割り込み手動動作も可能)
工程内容をあらかじめ入力することで、行先、移動速度、回転状態、回転速度を決められた値で自動的に実行します
| LPE 薄膜結晶製造装置 仕様 | |
| ヒータ容量 | 単相 200V 2.3kW×3ゾーン |
| 加熱室寸法 径×高さ mm |
φ280×H650 mm |
| 常用温度 | 800℃～900℃ |
| 最高温度 | 1000℃ |
| 温度分布 | ±2℃ (空炉安定時 φ100×H200mmの空間 at850℃） |
| 温度変動幅 | ±0.2℃ (空炉安定時 φ100×H200mmの空間 at850℃） |
| 発熱体 | SSSヒータ |
| 炉心管 | φ220×φ205×L800mm |
| LPE炉 駆動部(試料軸) 仕様 | |
| 昇降速度 | 20～300mm/min |
| 停止精度 | ±1mm以内 |
| 回転方法 | 正転/逆転 |
| 回転速度 | 20～300rpm (ソフトスタート付) |
| 回転数変動精度 | ±1%FS以内 |