国内外に多くの導入実績がある、高性能イオナイザー
装置概要
SXNシリーズは軟X線照射を利用し特定エリアの空気をイオン化させることで静電気を除去させます。
主に半導体、LCD、OLEDなどの製造工程など、クリーン環境での使用に最適です。
| 型式 | 装置構成 | |
| SXN-10V | コントローラーSXC-10T 1台 | 照射ヘッド SXH-10V 1台 |
| SXN-102V | コントローラーSXC-102T 1台 | 照射ヘッド SXH-10V 2台 |
| SXN-104V | コントローラーSXC-104T 1台 | 照射ヘッド SXH-10V 4台 |
特長
- クリーン環境に最適
コロナ放電式イオナイザーのような放電針からのパーティクルの発生や付着がありません。エアーやファンを使用しない為、気流による環境の乱れはありません。 - メンテナンスフリー
コロナ放電式イオナイザーのような 放電針が無いため電極の交換や清掃の必要がありません。照射ランプの寿命が近づくとアラームでお知らせします。 - イオンバランス±０V
⊕イオン、⊖イオンが均等に発生する為、イオンバランスは±０Vと良く、逆帯電などが起こりません。 - ハイスピード除電性能
帯電物周辺の大気を瞬時にイオン化させるため、広範囲の静電気を高速に減衰させることができます。 - コンパクトボディ
小形ヘッドユニットは、取り付けが容易で限られたスペースにも容易に設置ができます。
照射範囲と減衰時間性能
| 仕 様 （ヘッドユニット、コントロールユニット） | |||||
| 型 式 | SXN-10V | SXN-102V | SXN-104V | ||
| 電源電圧/周波数 | AC100～240V 50/60Hz | ||||
| 消費電力 | 23W | 40W | 50W | ||
| イオン発生方法 | 軟X線照射方式 | ||||
| X線照射源 | 軟X線管 | ||||
| 冷却方法 | 自然冷却 | ||||
| 接続ヘッド数 | SXN-10Vｘ1台 | SXN-10Vｘ2台 | SXN-10Vｘ4台 | ||
| ヘッド重量 | SXN-10V：0.29kg/台 | ||||
| コントローラー重量 | SXC-10T：0.52kg | SXC-102T：1.14kg | SXC-104T：1.64kg | ||
| ヘッド交換目安 | 約 8,000時間運転 | ||||
| 外部出力 | アラーム | ヘッド異常、システムエラー等 | |||
| インターロック | インターロック ON/OFF | ||||
| リモート | リモート ON/OFF | ||||
| パワー | パワー ON/FF | ||||
| オーバータイム | ヘッド交換時期お知らせ（7500時間） | ||||
| 表 示 | パワー、インターロック、オーバータイム、ヘッド異常 | ||||
| 保 証 | 御購入後 1年間 | ||||
軟X線照射の取扱注意事項 （法規制）
- 軟X線を直接人体に受けると悪影響を及ぼし危険です。御使用の際は下記遮蔽構造が必須です。
- 設置予定の30日以前に電離放射線障害防止規則に基づき所轄の労働基準監督署長へ届出義務があります
軟X線の遮へいについて（参考資料）
軟X線の遮へい構造材と遮へい率を考慮に入れて設備安全規準を守ってください。
遮蔽材
| 材質 | 厚さ（mm） | |
| ① | 銅 | 0.1mm 以上 |
| ② | アルミ | 0.2mm 以上 |
| ③ | ガラス | 1mm 以上 |
| ④ | 塩化ビニール | 5mm 以上 |
| ⑤ | アクリル | 10mm 以上 |
| * | 帯電防止アクリルの場合 5mm以上 | |
遮蔽率
